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代s传感器的样品。 当然更重要的还是看了他们的光刻机镜片生产线! 这个光刻机镜片的生产线,和常规工业产品的厂房是有巨大差异的。 徐申学所看到的是更像是实验室一样的生产车间,里头有着大量的顶级的设备,并且整个生产环境都是属于高度无尘环境。 南方光学的负责人解释道:“车间里生产的是euv光刻机使用的镜片,其平面精度非常高,空气里随便一粒灰尘落在上面,都意味着超高精度的镜片上出现了一座“大山”,为了制造这种镜片,必须在超洁无尘环境下进行!” “现在这个车间生产的镜片,是用于heuv-300b光刻机的主镜片,镜面直径达到一米,但是表面粗糙度只有三十五皮米,而面精度,即峰值与谷值的差值只有015纳米。” “也只有这种平...